平台类：行程有3’＊2’、4’X　4’8＇＊8＇快速移动平台，分透射和不透射。行程有100毫米X100毫米；步行电机；速度15m／s；度：1.8um，透射光照明的电动平台。各种规格的旋转平台。
　　照明类：LED环形单排灯源，四区可控灯源等，侧照明、冷光源、同轴照明器、扩散照明器，体视防眩光照明器等，可依据客户需求加工各式照明。

　　调焦组：
　　1、上粗微调部件，2um／格；调焦行程±25mm，共50mm
　　2、上粗微调部件，2um／格；调焦行程±25mm，共50mm；带Z轴测量　
　　3、下粗微调部件，2um／格；调焦行程±10mm共50mm　　
　　4、下粗微调部件，2um／格；调焦行程±7mm共14mm。