反应舱：
　　材料：铝
　　有效尺寸：直径230 x 深度250mm
　　容积：10.4升
　　舱门：装有可视窗口
　　托盘：订制
　　真空度测量：
　　皮拉尼真空计（利用电阻丝随温度的变化而电阻随之变化的原理来测量的，而电阻丝温度的变化又与其周围气体的热导率有关）
　　真空泵：
　　二级旋片式真空泵；3m3每小时。
　　频射发生器：
　　0~600W可调，2.45GHz发生器
　　控制系统：
　　触摸屏操作，PLC控制系统
　　PLC可实现下列功能：
　　1、自动控制反应过程；
　　2、根据处理材料设定不同的处理工艺流程；
　　3、测定真空泵压力、抽真空时间、充气速度、工作压力、处理时间、温度、频射发生器输入电压等指标；
　　4、监测所有的运行指标，保证在设定范围之内；
　　5、设定操作、维护密码。
　　电源：
　　220V AC、50Hz、16A.
　　反应气体：
　　一个气体输入端口，含气体流量控制器（MFC）；根据用户需要，可扩展
　　气体输入：
　　直径1/4英寸（0.645厘米）管道；输入压力：1Bar.
　　安全性能：
　　急停开关；真空泵保护锁；高温保护锁；CE安全。
　　用途：
　　小型物件的活化、清洗、蚀刻等。
　　
　　可选件：
　　频射发生器：100KHz，13.56MHz，可订制
　　可加装15m3每小时的真空泵
　　根据需要，可订制多个气体输入管道
　　根据客户工艺要求制作的软件程序
　　根据客户要求制作的托盘。
　　石英反应舱
　　N2 Purge