6寸规格探针台（样品台）    
　　
重量：50公斤左右    
面积：590mmW*500mmD*700mmH    
卡盘台X/Y方向的行程是：6英寸*6英寸，
：10微米，均带锁死旋钮      
卡盘台可以上下快速升降4mm  
　　
　　6英寸的卡盘，中心孔径小可以做到250微米，小可以吸附300　micron　x　300micron的单颗芯片  　
　　
　　PT200探针座      
　　
直线运动，三方向行程：13mm-13mm-13mm      
：0.35微米      
重量：约1300克        
真空吸附