重量约：60kg    
　　体积：590mmW*500mmD*700mmH    
　　直径为：6寸的真空卡盘（载物台）    
　　载物台X-Y方向粗调移动行程：4英寸*4英寸，移动：10um    
　　载物台X-Y方向细调移动行程：2英寸*2英寸，移动：1um    
　　卡盘可以快速升降，行程：4mm    
　　回形平台可以快速升降，升降行程：6mm，由圆形手柄控制，：1um    
　　回形平台可以上下微调行程：25mm，由手柄控制，：5um    
　　戴物台旋转角度：360度，带锁死装置，：0.1度    
　　为满足6个探针座同时放置使用，采用回形平台设计    
　　高配上加入卡盘的快速拖出200mm    
　　可以安装探针卡
　  
　　长工作距离金相显微镜    
　　高解析度    
　　目镜：10X    
　　连续变焦 1X/2X    
　　2X 10X 20X 50X 100X  
　　总倍率范围：20X-2000X    
　　150瓦高亮白色光源，可连续调节亮度（无极调节）    
　　显微镜X-Y轴的行程是：2英寸*2英寸1微米    
　　显微镜Z轴的行轴是：50.8mm    
　　C Mount 接口  
　　
　　管状夹具/1.5m长线缆/三轴（公）接头      
　　三轴管状夹具与屏蔽箱及环境因素的配合可达到100FA的漏电    
   三轴（母）转三轴（母）转接头，适用于KEITHLEY4200/AGILENT B1500
　    
　　防震桌    
　　垂直频率：1.2〜1.5Hz    
　　水平频率：1.5〜1.7Hz    
　　尺寸大于90cm*90cm，承重≥400kg    
　　4个气囊    
　　
　　屏蔽箱    
　　与管状夹具及双屏蔽线缆并结合相应的环境因素，漏电可达到100FA，配合特殊线缆可抗高压1000V。