性能参数：
　　型号　QV　Apex302PRO　QV　Apex404PRO　QV　Apex606PRO
　　QV　Apex302PRO3　QV　Apex404PRO3　QV　Apex606PRO3
　　Hyper　QV302PRO　Hyper　QV404PRO　Hyper　QV606PRO
　　测量范围  X轴  300mm  400mm  600mm
　　  Y轴  200mm  400mm  650mm
　　  Z轴  200mm  250mm  250mm
　　分辨率  0.1um（0.02um）
　　高灵敏度CCD照相机  黑白（PRO3型号：彩色）
　　  E1XV  （1.5＋3L/1000）um［（0.8＋2L/1000）um］
　　  E12  （1.5＋4L/1000）um［（1.5＋2L/1000）um］
　　  E2XY  （2＋4L/1000）um［（1.4＋3L/1000）um］
　　照明
　　（PRL：可编程环形照明）  表面  LED，RGB（PRO3型号：卤素灯）
　　  轮廓  LED，白色（PRO3型号：卤素灯）
　　  PRL  LED，RGB（PRO3型号：卤素灯）
　　放大倍率转换系统  可编程电动转盘
　　工作台玻璃尺寸  399×271mm  493×551mm  697×758mm
　　工作高度  200mm  250mm  250mm
　　台面承重  20Kg（15Kg）  40Kg（30Kg）  50Kg（40Kg）
　　尺寸（W×D×Hmm）**  859×951×1609  1027×1407×1778  1309×1985×1799
　　重量**  360Kg  579Kg  1450Kg
　　
　　*测量在以下条件下定义，可编程电动转盘：1X，物镜设置：2.5X，L为任意两点间尺寸（mm）
　　**包括机器设置台