椭圆偏振光谱仪主要用于测量薄膜厚度，光学常数，薄膜表面粗糙度以及其他的物理，化学，光学性能。美国AST公司设计和制造适合不同应用的高品质椭圆偏振光谱系统，其产品具有强大的分析功能软件TFProbe3.0，可以帮助研发或实验人员迅速地获得薄膜的厚度，表面粗糙度，合金成分和介电常数等数据。
　　
　　产品特点：
　　易于安装
　　基于视窗结构的软件，很容易操作
　　先进的光学设计，以确保能发挥出的系统性能
　　能够自动的以0.01度的分辨率改变入射角度
　　高功率的DUV−VIS光源，能够应用在很宽的波段内
　　基于阵列设计的探测器系统，以确保快速测量
　　多可测量12层薄膜的厚度及折射率
　　能够用于实时或在线的监控光谱、厚度及折射率等参数
　　系统配备大量的光学常数数据及数据库
　　对于每个被测薄膜样品，用户可以利用先进的TFProbe3.0软件功能选择使用NK数据库、也可以进行色散或者复合模型（EMA）测量分析
　　三种不同水平的用户控制模式：模式、系统服务模式及初级用户模式
　　灵活的模式可用于各种独特的设置和光学模型测试
　　健全的一键按钮（Turn−key）对于快速和日常的测量提供了很好的解决方案
　　用户可根据自己的喜好及操作习惯来配置参数的测量
　　系统有着全自动的计算功能及初始化功能
　　无需外部的光学器件，系统从样品测量信号中，直接就可以对样品进行的校准
　　可精密的调节高度及倾斜度
　　能够应用于测量不同厚度、不同类型的基片
　　各种方案及附件可用于诸如平面成像、测量波长扩展、焦斑测量等各种特殊的需求
　　2D和3D的图形输出和友好的用户数据管理界面。
　　
　　系统配置：
　　型号：SE200BM-M300
　　探测器：阵列探测器
　　光源：高功率的DUV-Vis-NIR复合光源
　　指示角度变化：手动调节
　　平台：ρ-θ配置的自动成像
　　软件：TFProbe 3.2版本的软件
　　计算机：Inter双核处理器、19"宽屏LCD显示器
　　电源：110–240V AC/50-60Hz，6A
　　保修：一年的整机及零备件保修
　　
　　基本参数：
　　波长范围：250nm到1000 nm
　　波长分辨率：1nm
　　光斑尺寸：1mm至5mm可变
　　入射角范围：0到90度
　　入射角变化分辨率：5度间隔
　　样品尺寸：直径为300mm
　　基板尺寸：多可至20毫米厚
　　测量厚度范围*：0nm〜10μm
　　测量时间：约1秒/位置点
　　度*：优于0.25％
　　重复性误差*：小于1＆＃506；
　　
　　应用领域：
　　半导体制造（PR，Oxide，Nitride.。）
　　液晶显示（ITO，PR，Cell gap.）
　　医学，生物薄膜及材料领域等
　　油墨，矿物学，颜料，调色剂等
　　医药，中间设备
　　光学涂层，TiO2，SiO2，Ta2O5.半导体化合物
　　在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜
　　非晶体，纳米材料和结晶硅
　　
　　产品可选项：
　　用于反射的光度测量或透射测量
　　用于测量小区域的微小光斑
　　X−Y成像平台（X-Y模式，取代ρ-θ模式）
　　加热/致冷平台
　　样品垂直安装角度计
　　波长可扩展到远DUV或IR范围
　　扫描单色仪的配置
　　联合MSP的数字成像功能，可用于对样品的图像进行测量