直线电机平台(气浮亚微米级)
本公司是具有多年从事直线电机平台系统研制、生产的高新技术企业。公司产品包括无槽、有铁芯、无铁芯直线电机、圆筒、步进直线电机、力矩电机、精密运动平台等系列产品,广泛应用于半导体制造、精密机床制造、自动化物流输运、激光切割、激光雕刻、玻璃磨边PCB加工、精密检测、纺织及等设备中。得到客户广泛认可和一致好评。
■直线电机平台特点:
直线电机结构紧凑、功率损耗小、快移速度高、加速度高、结构简单,定位高、反应速度快、灵敏度高,随动性好、工作安全可靠、寿命长、运动噪声低等优点。
◆公司平台按照分类可分为:1、纳米级定位平台(1-50纳米)2、高定位平台(0.5-1微米)3、普通定位平台(1-5微米)4、低定位平台(大于5微米)
◆按照复杂程度可以分为:一维平台、二维平台、三维平台、四维平台、多维平台
◆按材料分1、气浮平台 2、硬铝合金平台 3、铝型材平台3、大理石平台4、钛合金平台
●有铁心直线电机
结构
直线电机+双导轨滑块
直线度≤0.002mm,
定位≤0.005mm,
重复定位≤0.002mm.
速度
5000mm/min
●无铁心直线电机
结构
直线电机+双导轨滑块+光栅读数头
直线度≤0.002mm,
定位≤0.005mm,
重复定位≤0.002mm.
速度
5000mm/min
●管式直线电机
结构
直线电机+单导轨滑块+光栅读数头
直线度≤0.002mm,
定位≤0.005mm,
重复定位≤0.002mm.
速度
600mm/S
●二维气浮直线电机平台
行程:X轴-850mm Y轴-700mm;
定位:X轴-1um Y轴-1um;
重复定位:X轴-0.5um Y轴-0.5um
分辨率:10nm
速度:600mm/s
●三维龙门式直线电机平台
本公司承接各种非标平台研发、生产,同时提供电气控制系统的整套方案和技术支持