项目：M3030V型、M3030A
　　1、流量规格（N2）：10sccm～30slpm
　　2、准确度：±1％F.S（Full　Scale）
　　3、重复：±0.25％　FS（Full　Scale）
　　4、响应时间：≤3sec（特别要求：≤1sec）
　　5、耐压：：95　bar
　　6、工作环境温度：5℃～65℃
　　7、输入输出信号：0～5Vdc　or4～20mA
　　8、电源：15-30Vdc，350mA
　　9、外形尺寸
　　总长：依进气口、出气口接头规格而定
　　宽：36mm；高：138mm。