试验/实验用微波真空高温管式炉
　　CMS系列真空高温管式炉专门设计用于高温工艺，如ZnO纳米结构的可控生长、氮化硅渡膜、陶瓷基片导电率测试、陶瓷电容器（MLCC）气氛烧结等等。窑炉采用氧化铝纤维制品隔热、保温，进口优质微波源加热，优质刚玉管炉膛，系统可预抽真空，气体采用浮子流量计控制。进口单回路智能温度控制仪控制，设备具有温度均匀、控制稳定、升温速度快、节能、使用温度高、寿命长等特点，是理想的科研设备一、技术指标：
　　设备型号  NT-CVD（G）-08/50/1
　　温区温度  1650℃；（长恒温时间：≥10小时）；
　　加热有效容积  Φ72（内经）×500mm；恒温区尺寸：Φ72（内经）×250mm
　　炉管实际尺寸  Φ80（外径）×1400mm（国产优质刚玉管）
　　炉膛材料  氧化铝纤维制品
　　控制温区点数  1个，1支B分度热偶
　　设备温场温差  ±1℃，
　　加热元件  优质进口微波源
　　加热功率  4Kw
　　保温功率  1kw
　　升温速率  10℃∽120℃/min；
　　降温速率  3℃∽7℃/min
　　温度均匀性  ±3℃（有效范围：Φ72×250mm）
　　气路配件材料  气路配件材料，端头不锈钢发兰密封，一路气体采用浮子流量计控制，所有管道和阀门采用不锈钢元件
　　极限真空  ≤10Pa（常温），机械泵（配电磁阀）。
　　压升率  ≤5Pa/h
　　试验/实验用微波真空高温管式炉