1、设备整体尺寸：2000mm*18000mm*1600mm（宽*深*高）
　　2、真空室尺寸：直径700、900、1100mm
　　3、平行板电极尺寸：直径600、800、1000mm
　　4、电极冷却及调节：水冷，可调节
　　5、真空系统：粗抽泵＋分子泵机组
　　6、极限真空度：1*10-6mabr.
　　7、溅射电源：AE　射频直流电源3KW-5KW-10KW
　　8、工艺匹配：全自动匹配
　　9、气体控制：MKS　质量流量控制器　4路
　　10、真空检测：MKS　薄膜压力规
　　11、加热系统：石英管加热或热电阻加热　5KW-8KW-12KW
　　12、控制方式：全自动控制系统。