一、             系统特点：

■ 非接触测量，避免对被测样品造成损伤。

■ 采用高精密传感器，保证测量数据的精准性。

■ 采用高性能采集卡保证数据采集的准确及稳定性。

■ 采用高性能主机配以强大的控制软件对数据进行精准计算和分析。

二、            技术指标：

n        测量尺寸：400mm×500mm（可定制）

n        探头X/Y轴定位分辨率：±2μm

n        探头Z(垂直)轴定位分辨率：±0.2μm

n        被测基片厚度范围：50μm～500μm

n        测量：0.5μm

n        测试分辨率：0.1μm

n        测试速度：1片/30S

三、            设备外形：

 约：900mm（宽）×800mm（深）×600mm（高）

四、            输入源：

电源：AC 220V  50Hz     功率： <500W

真空：-100KPa