SQC 310晶体膜厚控制仪
价格:电议
地区:广东省 深圳市
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  INFICON SQC310系列石英晶体膜厚控制仪具有先进的电子学,改进型的显示器和极为出色的性价比,并具有两种可供选择的理想模式:顺序镀膜(SQC310)或并行镀膜(SQC310C),为您提供其它生产厂薄膜控制仪所没有的性能与特色。用于顺序镀膜的SQC310石英晶体膜厚控制仪装备有2个传感器输入,2个源输出,和8个数字输入/输出,同时提供为这些数字加倍的扩展插件板选件用于并行镀膜;SQC310C石英晶体膜厚控制仪监测多至4个石英晶体传感器,带有4个PID控制输出,16个数字输入,和16个继电器输出,其他则与SQC310的相同。
  
  技术特点
  ■高亮度,VGA活性点阵彩色LCD显示器–可显示英文或中文。
  ■标准RS-232和USB(有以太网选件)。
  ■易设置和操作,有“快速设置”菜单,6个上下文-敏感的按钮,和方便的参数设定旋钮。
  ■Window程序用于开发,测试,和工艺过程,和将仪器数据记录至您的PC上,用于过程分析与质量控制。
  ■的过程控制,尤其用于低淀积率,在10读值/秒时的分辨率为±0.03Hz,在0至50°C温度范围内的频率稳定性为±2ppm.
  ■贮存容量高至100个工艺过程,1,000个膜层,50个膜系。
  ■用单传感器或多传感器监测源材料,提供的源分布监测。