特征：
　　
　　直缐度可达10um
　　X轴6m Y轴0.5m行程
　　以缐性滑轨架构之定位平台
　　良好接地设计防止杂讯干扰
　　Z向震动可达奈米等级以下
　　速度可达5m/s
　　标准重现1um或以下
　　位置回馈系统解析度可达50nm
　　
　　应用
　　半导体设备
　　自动化搬送
　　FPD设备
　　太阳能制造设备
　　PCB设备
　　水刀设备
　　钻石切割产业
　　AOI检测设备
　　工具机