单多晶硅片无接触厚度TTV电阻率型号测试仪
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产品属性
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无接触式电阻率型号厚度综合测试仪HS-RW-200
产品介绍:
HS-RW-200型无接触式电阻率型号厚度综合测试仪是基于涡流测试技术、电容测试技术,能够对半导体晶片进行无接触、无损伤的电阻率、型号以及厚度测试,综合测试大大节省测试时间。
无接触式电阻率型号厚度综合测试仪-产品特点
■采用涡流法测试晶片电阻率
■采用电容法测试晶片厚度
■无接触、无损伤快速测试
■测试前无需表面处理
■特别对于多晶,能够有效避免晶界对测试的影响
■电阻率测试范围:0.001-1-20ohm.cm
■厚度测试范围:200-1200um
无接触式电阻率型号厚度综合测试仪-技术指标
■ 晶片可测量电阻率范围:0.001-1-2Ohm.cm
■ 晶片可测量厚度范围:200-1200um
■ 测量时间:1Point/s
■ 晶片直径:40-200mm
■ 推荐使用温度:23℃±3
■ 湿度:≤80%
■ 气压:86-106kPa
■ 使用电压:220±10V
■ 频率:50±3Hz
■ 功率消耗:≤50W
■ 尺寸(LxWxH):410x310x270mm 重量:15kg
典型客户
美国,欧洲,亚洲及国内太阳能及半导体客户。