供应MProbe薄膜测量系统(图)
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产品属性
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产品介绍:
大多数半透明的或者光吸收的薄膜可以被快速的可靠的测量:氧化物、氮化物、光刻胶、聚合物、半导体材料(Si、aSi、PolySi)、复合硅材料(AlGaAs、InGaAs、CdTe、CIGS)、硬膜(Paralene、PMMA、Polyamides)、金属薄膜等等。
技术指标:
■厚度范围:5nm-800μm
■波长范围:200nm-5000nm
应用范围:
■太阳能电池薄膜应用:aSi、TCO、GIGS、CdS、CdTe-全太阳能电池堆叠测量
■LCD、FPD应用:ITO、Cell Gaps、Polyamides
■光盘:介质滤光片、硬涂层、反射涂层
■半导体:Oxides、Nitrides、OLED stack
■200nm氧化层厚度的100个测量值
■实时测量及分析:多层的,不同薄厚的,独立和非均匀涂层
■可扩展材料库(超过500中材料):Cauchy、Tauc-Lorentz、Cody-Lorentz、EMA等等
产品特点:
■使用灵活:桌面或固定式,在线研发等
■测量:厚度、光学常数、表面粗糙度
■生产准备:后台刻度校准、操作员/工程师界面、■灵活的系统配置。连接层和材料、多种样品检测、动态测量和批量处理
■CdS/GIGS堆叠测量结果匹配VS数据产生