1、标准单探头　
　　是一种应用非常广泛的探头。
　　
　　2、带挡板单探头　　
　　用于对某特定材料的镀膜质量要求较高的场合。通常两只轮流配合使用，当
　　镀膜进行到质量要求较高的关键材料层时，切换到另一只探头，该探头专门
　　对该材料层进行控制，从而保证该关键材料层的镀膜质量。
　　
　　3、带挡板双探头　　
　　应用于大规模复杂的膜系制备，一个晶片难以完成全部的任务，一个晶片失效后，由另一晶片接替完成镀膜任务，失效时被打断的镀膜层可继续完成镀膜。