PVD1516真空镀膜机配置表
　　一、真空机组
　　1、2X30旋片泵（南光）
　　2、2X70旋片泵（南光）
　　3、RTO300S罗茨泵（萃曼）
　　4、KT500扩散泵（真龙）
　　5、阀门：GDZ2X500A高阀（全不锈钢结构），维持阀、前级阀、预抽阀为GDQ100型（全不锈钢结构），DDC65、DDC80电磁充气阀（上海二阀），旁通阀为罗茨泵内安装阀；
　　二、罐体
　　1、太钢SUS304不锈钢带水冷套结构，内尺寸1500*1600mm，内壁板厚10mm，外壁板厚5mm；十二支弧源位，分四列，每列三支交错排布。
　　2、工件支杆2套，19mm；
　　3、内衬板2套
　　4、布气管路
　　5、放气阀加装空气滤清器

　　三、标准件：密封圈，气路部件（二位五通电磁阀为德国进口BURKERT产品），不锈钢水阀，不锈钢水路接头，不锈钢螺钉，压力表，热电偶，电机，减速机及木箱包装等。
　　四、加热器：编组U型管状15KW，中心＋周边
　　五、工件转盘：下转盘，6工位，自转直径370mm，带屏蔽罩。
　　六、弧源（含电源）钛靶材100，气动引弧；直流逆变弧电源DC160A（深圳瑞菱）
　　七、质量流量计：七星华创D07-7B 500SCCM
　　八、全自动电气控制系统：三菱FX2N系列PLC及WEINVIEW触摸屏、FCS410型气体流量控制器、HY99401B复合计、FLX12型光栅阀角度控制器、接触器、空开、断路器、继电器、开关按扭、岛电温控表、数字电压表、变频器、电位器、机柜、面板、布线（主要元件选用国外品牌，威德米勒，三菱，施耐德等）
　　九、偏压电源：脉冲逆变PLS30KW（珠海盛普等）
　　十、随机备件：密封图，轴承，油封，专用工具等。