PVD12512E真空镀膜机配置表
　　一、真空机组
　　1、2X30旋片泵（南光）
　　2、2X70旋片泵（南光）
　　3、RTO300S罗茨泵（萃曼）
　　4、TYFB3600分子泵（泰岳恒）
　　5、阀门：GDZ2X400D高阀（全不锈钢结构），维持阀、前级阀、预抽阀为GDQ100型（全不锈钢结构），DDCY65、DDC80电磁充气阀（上海二阀），旁通阀为罗茨泵内安装阀；
　　6、管道为SUS304不锈钢结构，软连接为波纹管
　　
　　二、罐体
　　1、太钢SUS304不锈钢带水冷套结构，内尺寸1250*1200mm，内壁板厚8mm，外壁板厚4mm，镜面抛光；门两布置两个外挂式靶筒；上盖布置四对磁控靶孔位，两对一组，抽气口两侧布置两列四支弧源。
　　2、工件支杆2套，8mm
　　3、内衬板2套
　　4、布气管路
　　5、放气阀加装空气滤清器
　　三、标准件：密封圈，气路部件（二位五通电磁阀为德国进口BURKERT产品），不锈钢水阀，不锈钢水路接头，不锈钢螺钉，压力表，热电偶，电机，减速机及木箱包装等。
　　四、加热器：U型管状18KW（中心＋周边）
　　
　　五、工件转盘：下转盘，18工位，自转直径120mm，带屏蔽罩。
　　六、磁控靶：8支圆柱磁靶，70*1040mm，定向溅射，直接冷却，钛靶材（可与平面靶互换）；两支一对，工件架内外侧各二对，炉体上盖板安装。
　　七、弧源（含电源）钛靶材100，气动引弧；直流逆变弧电源DC160A（深圳瑞菱）
　　八、质量流量计：德国BURKERT 8711型，1000SCCM二台，500SCCM二台
　　九、全自动电气控制系统：三菱FX2N系列PLC及WEINVIEW触摸屏、FCS410型气体流量控制器、HY99401B复合真空计、FLX12型光栅阀角度控制器、接触器、空开、断路器、继电器、开关按钮、岛电温控表、数字电压表、变频器、电位器、机柜、面板、布线（主要元件选用国外品牌，威德米勒，三菱，施耐德等）
　　十、偏压电源：脉冲逆变PLS30KW（珠海盛普）
　　十一、中频电源：中频逆变MF40KW（珠海盛普/深圳新达）
　　十二、随机备件：密封圈，轴承，油封，专用工具等