SD系列射频电源：适用于采用高频单极激发的等离子体化学气相淀积设备、等离子体喷涂设备、等离子体刻蚀设备、反
　　应离子刻蚀机、等离子体去胶机、等离子体清洗机等感性及容性输出负载的等离子体设备。

　　技术特点：
　　本电源采用它激振荡，晶体稳频，频率13.56KHz，采用高性能金属陶瓷四极管功率输出，输出功率连续可调，具有相应的自匹配器，自动匹配网络使输出功率全部加到反应室，匹配范围大，具有反射功率（Pr）保护电路，具备抗过载短路的能力，并能方便的读出入射功率、反射功率。