产品应用：太阳能电池片生产线上125mm×125mm、156mm×156mm方片扩散、氧化、退火等工艺使用。
　　
　　产品特点：
　　◆工业计算机控制系统，对炉温、进退舟、气体流量、闸门等动作进行自动控制；
　　◆闭管式扩散系统，有效降低生产成本，更洁净，更环保；
　　◆石英舟采用软着陆送片，高可靠性；
　　◆工艺有毒害尾气定向收集、集中处理排放，更加安环保；
　　◆具有多种工艺管路，可供用户随意灵活配置；
　　◆具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能；
　　◆控温好，温区控温稳定性好；
　　◆关键件全部采用进口件，系统可靠性高，抗干扰性能强。
　　
　　主要技术指标：
　　1.适用硅片尺寸：125mm×125mm、156×156mm；
　　2.装片量：300-400片／管；
　　3.工艺管数量：1～4管（可选择）；
　　4.工作温度范围：400～1300℃；
　　5.恒温区长度：1100mm（可根据客户要求定做）；
　　6.恒温区：±1℃（600～1100℃）；
　　7.单点温度稳定性：≤±1℃／24h（600～1100℃）；
　　8.可控升温速度：（300～1300℃）15℃／min；
　　9.可控降温速度：（1300～900℃）5℃／min；
　　10、净化台洁净度：100级。