龙门式空气轴承
　　X向双直线电机同步驱动
　　全花岗岩结构
　　空气轴承整体优化设计
　　高速、高光栅反馈装置
　　技术指标
　　设计行程：250mmX250mm
　　系统分辨率：0.1或0.05微米
　　重复定位：0.5微米
　　运行速度：800mm/s
　　运行加速度：1.5G
　　负载能力：3Kg