全自动晶粒分拣机(Royce MP300)
价格:电议
地区:广东省 深圳市
电 话:86-755-25984880
传 真:86-755-82663760
  系统特征: 
  ◆高度灵活性,低成本,全自动拾片和放片。 
  ◆低成本的全自动晶粒分拣机,从圆片上分拣晶粒到晶粒盒或是薄膜框架上 
  ◆可识别多种晶圆图像模式,根据圆片图象文件自动分拣晶粒,包括比萨掩膜或是混合型圆片 
  ◆可拾取厚度50µm的有桥接和通孔的砷化镓晶粒 
  ◆用DieSortManager晶粒分拣管理软件和可扩展的圆片图像库,MP300的设置非常简单
  ◆能快速转换适合不同晶粒尺寸和可预设置输出载体的变化 
  ◆灵活的供料平台适合3英寸至12英寸(300mm)在圆环或框架上的圆片。 
  ◆挑粒的高度,速度都可以设置,吸头可以选择真空吸头或是非表面接触双夹头 
  ◆输出载体可以快速转换,如晶粒盒或是薄膜框架上 
  ◆圆片上晶粒的位置到晶粒盒里的位置的可追踪性。
 
  直观的用户界面可实现下列操作: 
  灵活地将晶粒装入不同载体 
  ◆晶圆图像格式包括SEMI E142 Electroglas 40x0 KLA,August和其它常规格式。
  ◆处理混合圆片上尺寸不同的晶粒 
  ◆晶粒分拣软件在WindowsXP系统下运行,菜单文件管理和备份文件完全网络化。 
  ◆部分已挑粒的圆片图像将生成日志文件,该文档包括每个已放置晶粒的数据;包括原来在晶圆上的位置和实际放置的晶粒室的号码。终将每粒晶粒在晶粒盒上的位置定位。工程师便能看到晶粒盒上晶粒来自晶圆上何处的储存记录,这样能够实现更快的工艺纠正和产能改善。