XY编码器或者叫栅格，在X和Y方向上以10um的作为基础周期，整个计量系统则以5um的作为测量周期。NG用三相90-element的探测器从栅格中捕捉阶的激光通过衍射方式反射过来的信号。这三个信号为极小的移动提供一个非常明确的测量相位。
概述

　　NG-A-PCI是用于测量二维超精密的平面位移的测量系统。NG是一个XY网格编码器系统，湍流效应是激光干涉仪经常会遇到的，该系统也可以避免与相单独线性尺度关联的阿贝误差。NG在制造栅格的过程中，能够保证其达到激光干涉仪的，并且以一个更经济的价格、更实用和更坚固的制造工艺来封装它。

应用领域

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高低成本的位置控制；

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实时校准；

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精密金刚石车削实验室；

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镜头自动对焦；

主要特点

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亚纳米的分辨率；

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重复性小于5nm；

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低阿贝误差；

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对湍流效应及大气压强变化不敏感；

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占地面积小，重量轻；

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可选真空版本；

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易于安装，包括栅格安装的应力消除；

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栅格和探头的间隙为12mm；

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对准误差低；

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完善的技术支持；可定制；

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高速运作；

   


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