NS是一款用于线性测量的超精密干涉编码器测量系统。它可以避免激光干涉仪经常会遇到的湍流效应，同时提供纳米级可重复性和分辨率。NS兼容大多数现有的设计平台。
概述

　　　NS传感器是一款采用二极管光源的高精密的电子设备。它用三相90-element的探测器通过扫描方式捕捉阶的激光通过衍射方式反射过来的信号，经过高度准确的插值方法和编码器对反射不敏感的条件下，这三个信号提供一个非常明确的测量相位。

应用领域

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高低成本的位置控制；

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实时校准；

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精密金刚石车削实验室；

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镜头自动对焦；

主要特点

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亚纳米的分辨率；

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高速；

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对湍流和大气压力的变化不敏感；

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重复性≤5nm；

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兼容性好，不需要更换主要设计就可以替换现有的计量系统；

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占地面积小，重量轻；

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可选真空版本；

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对准误差低；

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完善的技术支持；可定制；

   


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