机台型号：EPT01R
　　整机规格：600mm（W）×500mm（D）×400mm（H）
　　腔体规格：Φ160mm×210mm
　　腔体容积：4L
　　电极规格：外置环形电极（可载物：单层，80mm×120mm）
　　电源系统：固态晶体管等离子发生源
　　控制系统：手动控制
　　真空系统：背底真空度<5PA，工作真空度5-100PA内连续可调
　　进气系统：2路工作气体、1路放空、1路接枝