测量范围 300μm
　　分辨率 0.01μm
　　 2％＋LSDμm
　　传感器类型电感
　　探头下压力 150-300mg
　　钻石尖半径5
　　测量参数
　　Ra，Rz，Rt，RP，RMr，Rpc，RSm，Rz1max
　　RSK，Rda