X荧光镀层厚度测量仪 (CMI-960)
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X-Strata 960 X荧光射线测厚仪,适用用于电子元器件、半导体、PCB、汽车零部件、功能性电镀、装饰件、连接器多个行业,可快速测定各种材料构成的多层镀层厚度。长寿命100瓦微焦点X射线管(其他测厚仪为50瓦),与CMI900相比,相同测量时间可以提高30%分析,或者相同的要求可以减少50%的测量时间。三种样品台可供选择:程控XYZ轴、手动XY轴、固定位置样品台。更小准直器,测量更小区域,小直径15um圆形准直器。CCD系统,可实现对测定样品的高分辨、实时、彩色图像观测。自由距离测量DIM:更灵活地测量不规则样品(凹凸)。一体机工作站式设计,简化设备安装,减少占用空间。
技术参数:
◆元素范围:Ti22–U92同时分析层数和元素定量:5层(4层+基体);多同时15种元素定量
◆X射线激发:100瓦(50kV-2.0mA)微焦点钨靶X射线管(可选钼靶X射线管)
◆X射线检测:高分辨封气(Xe)正比计数器,灵敏度高,可多装备3种二次滤光片
◆准直器:单准直器或多准直器系统,准直器系统多可安装4种规格的准直器,备有各种规格准直器(0.015mm-0.5mm)圆形或矩形供客户选用
◆数字脉冲处理器:4096通道数字多道分析器,包含自动波谱校正和PulsePileRejection功能
◆样品台:程控XYZ轴:300x200x230mm
手动XY轴:250x250mm+230mm程控Z轴
固定位置样品台,高度230mm
◆CCD系统:1/2"CMOS-640X480VGAresolution镜头标准为15倍,可选购40倍或由软件放大X1、X2、X3、X4激光自动对焦
◆自由距离测量DIM:在12.7~88.9mm自由聚焦范围内可准确聚焦样品表面任意测量点,并有自动雷射聚焦功能
◆统计报表功能:平均值、标准偏差、相对标准偏差、值、小值、数据变动范围、量测点数、控制上线图、控制下线图、CP、CPK数据分组、X-bar/R图、直方图
数据储存功能统计软件允许用户自行设计报表(另可选购Excel输出功能)
◆电源:85-130V或者215-265V、频率47-63Hz
◆工作环境:10-40℃、相对湿度小于98%,无冷凝水
◆仪器尺寸:H744xW686xD813
◆重量:160公斤。