硅片要求
　　规格：
　　方片：125×125mm、156×156mm
　　圆片：3"、4"、5"、6"、8"
　　
　　测量功能
　　厚度：点及多点厚度
　　TTV：总厚度偏差
　　体电阻率：单点及多点电阻率
　　TRV：总体电阻率偏差
　　
　　测量指标
　　厚度：
　　范围：150-1000μm
　　测量误差：≤±1.0μm
　　重复性1σ：≤0.2μm
　　
　　TTV：
　　范围：0.0-200.0μm
　　测量误差：≤±0.50μm
　　重复性1σ：≤0.2μm
　　
　　电阻率：
　　范围：0.1-30Ω。cm
　　测量误差：≤±3.0%*R
　　重复性1σ：≤1.5%*R