陀螺型过滤器的使用対象检测部和检测对象气体
　　检测部型号 GD-K71D/GD-K7DII
　　检测对象气体名 CL2
　　HCl
　　HF
　　F2
　　NH3
　　CO
　　CLF3
　　HBr
　　检测部型号 FP-260AGZS
　　检测对象气体名 C5F8
　　C4F6
　　
　　检测部型号 GD-S77DG
　　检测对象气体名 TEOS
　　TMS
　　OMCTS
　　
　　目的：除去灰尘等粉尘物质