特气输送系统（G/C）
　　适用于半导体、LED、LCD以及太阳能行业有毒/易燃/腐蚀性/惰性气体供应
　　按照其输送介质可分为GC，GR，BSGS等
　　所用特气管路均采用进口SUS 316L EP管
　　渗漏率：1*10–10ATM–CC/sec（HE）
　　PLC控制触摸屏，操作简便
　　全自动气瓶切换
　　易于操作维修
　　内部互锁设置，操作更安全
　　适用于中央监控系统（GMS）