紫外臭氧清洗可以去除：
　　皮肤油脂，有机硅油和油脂，助焊剂，残留的光刻胶，胶水溶剂，碳等。
　　
　　怎样说是“超”洁净？
　　接触角测量方法4−5度。适用AES和ESCA测量细微的峰值。使用蒸汽测试，在冷凝和蒸发时形成一致的彩虹装的条纹。通常情况下，使用清洗或是超声清洗工序后，清洁关键表面认为完成。紫外臭氧清洗提供一种新的清洗尺度。在传统清洗工序后加入紫外清洗的应用，产品的性能和可靠性的提升不断的证明这种新的清洗尺度的价值。
　　
　　紫外臭氧清洗工作原理：
　　UVOCS清洗设备的是低压石英汞灯，产生254和185nm范围的紫外线。臭氧和等离子氧气产生，有机污染物分子在吸收254nm波长紫外线后被激发或分解。激发的有机污染物可以和等离子氧原子反应形成气体，比如CO2，H2O等。整个过程在室温**发生，并且只需要1到几分钟完成。
　　
　　*注1：白色氧化铝暴露在UV能量下会变黄。这种现象是由于基材吸收UV能量，而不是一种涂层。这种氧化铝在加热情况下会转化为他原来的颜色。
　　**注2：清洗元件温度的上升取决清洗过程的时间长度。在大多数应用，元件温度可以视为室温。
　　
　　关键特性：
　　·间歇式灯泡工作方式。灯和定时器通过关闭门来触发。
　　·滑行部件托盘−光滑−低震动，滚珠轴承系统−高度到1.5英寸。
　　·坚固耐用，全部不锈钢结构
　　·长寿命。低压石英水银蒸汽灯发射254nm和185nm UV，促进快速氧化，去除微量的有机残留物。
　　·全面UV保护让设备操作更安全。
　　·更低设备采购成本和操作成本。
　　·0-999秒/分钟/小时定时器，能够控制。灯和定时器通过门关闭来触发。
　　·臭氧排气护罩：UVOCS托盘型号有一个臭氧护罩，可以允许UVOCS清洁设备放在你的生产线或是设备，和过程相关设备放在一起。这会使得材料的再污染小化。一个3英寸排气出口内置在护罩的后面，可以连接到你的排气系统。没有提供排气风扇。小排气量需求为100CFM.（立方英尺/分钟）
　　·在操作过程结束时有蜂鸣声。
　　·UV“ON”指示灯和可见窗口。
　　·操作简单：设定定时器，打开门，抽出托盘，将元件放在托盘上。将托盘滑入并关闭门。在清洗操作过程结束有蜂鸣声。打开门，移开全部的清洗元件。
　　
　　UVOCS紫外清洗机
　　型号 T10x10/OES T16x16/OES
　　光照尺寸
　　10" x 10" （25.4×25.4cm） 16" x 16" （40.6×40.6cm）
　　有效面积：100 sq.in.256 sq.in.
　　宽：14"20"
　　深：23 3/4"29 3/4"
　　高：14.5"14.5"
　　托盘推出深度：33"46"
　　滑行托盘：1 1
　　结构：箱体和托盘为不锈钢结构
　　功耗：110Vac/60Hz 5A Max or 230Vac/50Hz 2.5 amp Max
　　臭氧排气系统：有臭氧排气系统
　　排气口尺寸：3"直径
　　排气需要：100cfm 100cfm
　　定时器：在开始或结束时峰鸣
　　”ON“指示器：有有