这款机型除了拥有AFM-II型原子力显微镜的全部功能以外，主要增加了AFM侧向力/轻敲扫描模式(Tapping Mode)，特别适用于检测生物样品及其它柔软、易碎、粘附性较强的样品。具有STM恒流模式/恒高模式形貌检测， I-V曲线测量， I-Z曲线测量，针尖修饰功能。AFM接触/非接触/侧向力/轻敲扫描模式形貌检测功能，划移扫描，F-Z曲线测量功能。并使用了智能针尖连接技术，使各种工作模式之间的转换只需替换相应的针尖架，不必替换整个探头，软件能够自动识别当前针尖类型，并自动切换到相应的工作模式。操作非常方便。

　　用户还能根据不同的科研要求，选择3μm-100μm不同范围的扫描器，以及高分辨CCD观测系统和高样品X-Y移动平台，使操作更加方便、。

　　同我们所有MicroNano 系列产品一样，这款机型还可以根据用户需要，选购相应的功能模块，将功能扩展至磁力显微镜模式。

技术指标：
　　扫描模式：STM恒流/恒高模式扫描/ I-V曲线测量/I-Z曲线测量/针尖修饰（脉冲）
AFM接触/非接触/侧向力/轻敲模式形貌/划移扫描/F-Z曲线
　　样品尺寸：≤Φ10mm
　　样品厚度：≤5mm
　　扫描范围：标准配置6μm×6μm
　　分辨率：STM（X-Y向0.1nm；Z向0.01nm）
　　　　　　接触模式AFM（X-Y向0.2nm；Z向0.03nm）
　　　　　　轻敲模式AFM( x,y方向0.2 nm，z方向0.1nm)
　　XYZ控制：双12-bit D/A（相当于20位）
　　数据采样：双12-bit A/D （相当于20位）
　　扫描速率：20000 P/S
　　扫描角度：0~360°
　　图像采样点：256×256 / 512×512
　　马达控制：线动螺纹+自动马达，行程<10mm，<0.1μm
　　计算机接口：标准并行口
　　配套功能强大的MicroNano SPM 2.1软件系统

可选配件及功能模块：
　　3μm×3μm，20μm×20μm，50μm×50μm，100μm×100μm规格扫描器
　　高分辨CCD观测系统
　　高样品X-Y移动平台
　　MicroNano MFM-I型磁力显微镜功能模块