x荧光膜厚测试仪采用X射线管和高压电源。X射线管装在一个抽真空后注满油的全密封的油箱中保证绝缘和良好冷却，高压等级根据所造型号不同有所区别，加上传感器具有的温度自动保护与报警功能，提高了X射线管的稳定性和使用寿命。模块化设计、免维护设计方案及规范的制造保证了设备系统高可靠性。

x荧光膜厚测试仪检测器。X射线检测器主要由光电倍增管和前置放大器组成。光电倍增管 的阴极加有高压（通常几百伏）。当X射线光子射到光电倍增管的阴极时产生电子，在阴极电压的作用下，倍增极把阴极的每个电子（假设每极放大n个电子）增加到d (d为倍增极数）个电子，即放大管电流，终到达阳极，然后通过前置放大器把管电流放大并转换成电压形式。

x荧光膜厚测试仪x射线的原理是X射线和紫外线与红外线一样是一种电磁波。可视光线的波长为0.000001 m （1μm）左右。
对某物质进行X射线照射时,可以观测到主要以下3种X射线。
（1） 萤光X射线
（2） 散乱X射线
（3） 透过X射线
膜厚测试仪，分为手持式和台式二种，手持式又有磁感应镀层测厚仪，电涡流镀层测厚仪，荧光X射线仪镀层测厚仪。手持式的磁感应原理时，利用从测头经过非铁磁覆层而流入铁磁基体的磁通的大小.来测定覆层厚度。也可以测定与之对应的磁阻的大小，来表示其覆层厚度。
台式的荧光X射线膜厚测试仪，是通过X射线穿透金属元素样品时产生低能量的光子，俗称为二次荧光，,在通过计算二次荧光的能量来计算厚度值。