x荧光膜厚仪采用X射线管和高压电源。X射线管装在一个抽真空后注满油的全密封的油箱中保证绝缘和良好冷却，高压等级根据所造型号不同有所区别，加上传感器具有的温度自动保护与报警功能，提高了X射线管的稳定性和使用寿命。模块化设计、免维护设计方案及规范的制造保证了设备系统高可靠性。

x荧光膜厚仪检测器。X射线检测器主要由光电倍增管和前置放大器组成。光电倍增管 的阴极加有高压（通常几百伏）。当X射线光子射到光电倍增管的阴极时产生电子，在阴极电压的作用下，倍增极把阴极的每个电子（假设每极放大n个电子）增加到d (d为倍增极数）个电子，即放大管电流，终到达阳极，然后通过前置放大器把管电流放大并转换成电压形式。

x荧光膜厚仪可测元素范围：铝(AL) –铀(U)。
可测量厚度范围：原子序22-25，0.1-0.8μm26-40，0.05-35μm43-52，0.1-100μm72-82，0.05-5μm。
自动测量功能：编程测量，自定测量修正，测量功能。
底材修正：已知样品修正。
定性分析功能：光谱表示，光谱比较。
定量分析功能：合金成份，分析数据。