X-RAY膜厚测试仪采用X射线管和高压电源。X射线管装在一个抽真空后注满油的全密封的油箱中保证绝缘和良好冷却，高压等级根据所造型号不同有所区别，加上传感器具有的温度自动保护与报警功能，提高了X射线管的稳定性和使用寿命。模块化设计、免维护设计方案及规范的制造保证了设备系统高可靠性。

X-RAY膜厚测试仪检测器。X射线检测器主要由光电倍增管和前置放大器组成。光电倍增管 的阴极加有高压（通常几百伏）。当X射线光子射到光电倍增管的阴极时产生电子，在阴极电压的作用下，倍增极把阴极的每个电子（假设每极放大n个电子）增加到d (d为倍增极数）个电子，即放大管电流，终到达阳极，然后通过前置放大器把管电流放大并转换成电压形式。

X-RAY膜厚测试仪1.准值仪4种孔径内藏式
仪器测量直径小可达到150微米。可供选择的准直器直径
有0.1、0.2、0.3和1.5毫米。
2.自动测定测量台
利用滑鼠来调整测量位置，非常敏捷快速。自动聚焦，或是测量位置已完成登陆时，可连续自动测定，利用座标补正、连结频道，来应付各种测量轨迹。亦可用自动测定来作标准片校正。
3.优越的机能
配有超大功率X射线光管和高灵敏度探测器，能够满足复杂样品和微小测试面积的检测需求。
4.测定部显示尽像的表示
X线照射部可由WINDOWS画面上取得照射部的表示。从准仪照射测定物的位置，可由倍率更机能来实现尽面上测出物放大。
5.在膜厚测定中的能谱表示
由多频分析器可快速处理能谱分析。可执行测定物的能谱分析表示，操作简单。
提长资料处理的速度
6.充实测量的作成机能
采用MS-WINDOW软件，测定画的撷取，非常简便，可充衬测量的制作机能。可同时间隔处理多项工作，机器在测量中亦可处理其他工作：包括如测量的制作。 
7.测定物膜厚附著分布表示
以三次元图案来表示测定物膜厚附著状态的分布，作判定时一目了然。
自己诊断机能及X线管保食机能
自己诊断机能，迅速的对策来排除机器的因扰。附有X线管的使用时间及耐久时间表示机能，可加强保食的安全性。