美国膜厚测试仪采用X射线管和高压电源。X射线管装在一个抽真空后注满油的全密封的油箱中保证绝缘和良好冷却，高压等级根据所造型号不同有所区别，加上传感器具有的温度自动保护与报警功能，提高了X射线管的稳定性和使用寿命。模块化设计、免维护设计方案及规范的制造保证了设备系统高可靠性。

美国膜厚测试仪检测器。X射线检测器主要由光电倍增管和前置放大器组成。光电倍增管 的阴极加有高压（通常几百伏）。当X射线光子射到光电倍增管的阴极时产生电子，在阴极电压的作用下，倍增极把阴极的每个电子（假设每极放大n个电子）增加到d (d为倍增极数）个电子，即放大管电流，终到达阳极，然后通过前置放大器把管电流放大并转换成电压形式。

美国膜厚测试仪硬件配置（均为美国标准配）：
*  射 线 管：微聚焦型W靶鈹窗X射线管功率50W
*  激发电源：仪器可调节式高压电源30-40-50KV高压激发电源
*  检 测 器：数字半导体接收器
*  滤 波 器：镍（Ni）滤波;铝（AI）滤波；和空气滤波三种
*  准 直 器：4个（自动司服转化功能）
   圆 形4个: 0.1φ, 0.2φmm,0.3φmm，1.5φmm
*  摄像系统：彩色CCD摄像系统。
*  整体外观尺寸：长*宽450*450mm 整体重量：32KG
   样品的测量台：XY轴可移动样品台
   样品室，室内尺寸：长*宽*高=360*380*240 
*  搭载自动制作生成图文测量检验书
*  戴尔E390商务电脑及19寸液晶显示器（戴尔原装电脑具体配置随机性）
   智能英特尔  奔腾  G630处理器；OptiPLex(TM) 390MT机箱
   1GB（1x1GB）Non-ECC DDR3 1333MHZ SDRAM Memory
   500GB 7200 RPM 3.5 SATA Hard Drive，DeLL IN1930 19英寸显示器
*  工具配置箱一件，样品环二个，样品膜一卷（可使用数年）