EMS 150膜厚监控仪（Film Thickness Monitor）和喷金仪/离子溅射仪/喷碳仪/蒸发镀膜仪配套使用，以便对膜厚进行监控。提供内置模块和外接装置。
　　
　　石英是离子型的晶体，当发生拉伸或压缩时能产生电极化现象，称为压电，这是因为其结晶点阵的有规则分布所致。石英晶体压电效应的固有频率不仅取决于其几何尺寸，切割类型，而且还取决于芯片的厚度。当芯片上镀了某种膜层后，芯片的厚度增大，则芯片的固有频率会相应的衰减。膜厚监控仪就是通过测量频率或与频率有关的参量的变化而监控淀积薄膜的厚度。
　　膜厚监控仪（FTM）是如何工作的呢？镀膜时，膜厚监控仪里面的晶振片的高速振动，测试每秒钟振动次数的改变，从所接受的数据中计算膜层的厚度。