激光扫描光学轮廓仪
　　μScan采用模块化设计，特点是快速测量、不接触、不破坏、自动化
　　μScan的中心部件扫描模块（x／y方向样品扫描）可以和不同的传感器
　　（Z方向测量）连用，如Confocal　point　sensor、Autofocus　sensor、Chromatic　white　light　sensor、Holographic　sensor等。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　AF2　自动对焦
　　借由探测器的回馈讯号调整物镜位置，得到待测物焦点，而获得待测物的确实高度（如下左图）。
　　CF4　共轭焦
　　激光光束经由物镜迅速上下移动聚焦于待测物上，此时偵测器能经由孔洞得到光的强度，如此侦测器根据此讯号确定其位置（如下右图）。
　　
　　应用
　　集成电路封装和表面贴片技术
　　厚膜混合电路：膜厚度的自动化测量
　　精密部件