F坐标测量机技术综述
　　一、技术参数
　　行程范围：X轴------1200 mm
　　Y轴------1500 mm
　　Z轴------1000 mm
　　
　　结构型式：活动桥式
　　传动方式：柔性齿型同步带+预载荷高空气轴承
　　长度测量系统：RENISHAW（英国）开放式光栅尺，分辨率为0.5 μm
　　机台：高花岗岩平台
　　
　　使用环境：温度(20±2)℃，湿度55%-65% ，温度梯度1℃/m
　　温度变化 1℃/h
　　空气压力：0.4 MPa - 0.5 Mpa
　　空气流量：100 L/min – 120 L/min
　　
　　整机尺寸：2.82m X 1.98 m X 3.5m  (安装尺寸：3 m X 2.15 m X3.55m)
　　机台厚度：420mm
　　整机重量：6500kg
　　机台承重：2000kg
　　
　　控制及探针测量系统：
　　1．驱动系统：直流伺服电机 (日本)
　　2．控制系统：Renishaw （英国）
　　3．操作方式：计算机自动控制
　　4．控制软件：SEREIN DMIS V2.0（美国）
　　5．探测系统：Renishaw（英国）MH20i（标准配置）
　　6．测量不确定度（E）：（4.5+L/300）μm
　　
　　二、设备配置
　　1．机台、机座                                        1台
　　2．RENISHAW测头座 MH20i                1个
　　RENISHAW测头座 PH10T+ TP20（自动控制  选配） 1套
　　3．RENISHAW 控制系统                            1套
　　4．操纵盒                                         1个
　　5．软件加密狗                                    1个
　　6．安装光盘（控制软件SEREIN DMIS V2.0）      1张
　　7．Serein-CMM三坐标测量机使用手册         1本
　　8．附件                                        1套
　　9．控制计算机，显示器，打印机　　　　　　１套
　　三、可实现功能
　　1．柔性定位：找正、旋转、平移及坐标存取。
　　2．几何元素测量：点、直线、平面、圆、圆柱、圆锥、球、相交、距离、对称、夹角。
　　3．形状误差定位：直线度、平面度、圆度、圆柱度。
　　4．位置误差评定：平行度、垂直度、平面度、倾斜度、同轴度、位置度。
　　5．脱机编辑系统：自学习编程、脱机编程、自检纠错功能、CAD导入系统。
　　四、机械特点
　　1．整机设计采用单边活动桥式结构，该结构紧凑，大幅降低了活动框架的重量，显著提高了系统的运动性能，确保了测量及稳定性。
　　2．三轴导轨均采用高精密天然花岗岩，使三轴具有相同的温度特性，保证测量过程中良好的温度稳定性及刚性。
　　3．三轴导轨均采用自洁式预载荷高空气轴承，使运动更平稳，导轨永不受磨损。
　　4．长度测量系统采用英国 RENISHAW 的自粘开放式金属光栅尺，使光栅尺与花岗岩基体的热膨胀系数接近，从而提高设备的稳定性。
　　5．控制系统采用英国 RENISHAW 的高速高自动控制系统，该系统内嵌32位微处理器，真正实现实时控制；上下位采用光纤通讯，增强了电气抗干扰能力。