可以用于沉积几乎任何金属及氧化物薄膜，目前主要超导量子实验室均使用该设备制备超导结（量子比特和约瑟夫森结）和量子器件，可以制备大面积、高度稳定性和可重复性超导结。更详细信息或资料，请咨询我们！
　　
　　推荐配置
　　
　　蒸发腔体：
　　
　　泵装置：低温泵/TMP＋叶片泵/干泵；
　　
　　真空度通常10-8Torr
　　
　　电子束蒸发源：6-15KW
　　Load lock预真空进样室：
　　
　　泵装置：TMP＋叶片泵/干泵，
　　
　　真空度<10-7 Torr
　　
　　衬底支架：可加载4英寸衬底
　　
　　衬底3D转动
　　
　　衬底倾斜：角度范围请咨询，和重复性优于0.1°（可升级）；
　　
　　衬底旋转：20rpm.
　　
　　氧化硬件：静态氧化
　　
　　气体接口：注射氧气及其他气体来实现清洁和氧化过程
　　
　　衬底清洗：配备离子枪
　　
　　石英晶振膜厚控制仪；
　　
　　频率分辨率：10-4Hz或更优
　　
　　速率控制分辨率：0.01Å/s；
　　
　　厚度分辨率：0.01Å
　　
　　全自动软件包，支持半自动和手动模式，支持远程网络操作和维护。
　　
　　典型用户：耶鲁大学、UCSB、普林斯顿大学、滑铁卢大学、法国科学研究中心、格拉斯哥大学、日本NTT、清华大学等
　　
　　欢迎咨询！