尺寸:1100　x　1250　x　1550　mm　
　　重量:400kg　
　　类型:自动的　
　　测量方法:无连接的　
　　测量原理:反射计　
　　特征:测量迅速，操作简单
　　
　　非接触式，非破坏方式
　　
　　的重复性和再现性
　　
　　2D／3D　映射和造型
　　
　　自动机械活动控制
　　
　　电荷耦合器件照相机
　　
　　自动调焦
　　
　　活动范围:300mm　x　300mm　
　　测量范围:100Å～　35㎛（Depends　on　Film　Type）　
　　光斑尺寸:40㎛／20㎛，4㎛（option）　
　　测量速度:1～2　sec。／site（fitting　time）　
　　应用领域:All　Capability　of　ST2000　＆　More　Precision　Measurement　
　　Intended　for　Large　Size　Wafer　Measurement　
　　选择:Transmittance　Module
　　Reference　Sample（K-MAC　or　KRISS　or　NIST）　
　　接物镜旋转器:Quintuple　Revolving　Nosepiecs　
　　焦点:Coaxial　Coarse　and　Fine　Focus　Controls　
　　附带照明:12v　100W　Halogen　Lamp