尺寸:500 x 610 x 640 mm  
　　重量:45Kg
　　类型:手动的
　　测量样本大小:点 8", 12"
　　测量方法:无连接的
　　测量原理:反射计
　　特点: 测量迅速，操作简单
　　
　　非接触式，非破坏方式
　　活动范围:200mm x 200mm(8"), 300mm x 300mm(12")
　　测量范围:100Å~ 35㎛(Depends on Film Type)
　　光斑尺寸:40㎛/20㎛, 4㎛(option)
　　测量速度:1~2 sec./site
　　应用领域:All Capability of ST2000 & More Precision Measurement
　　Intended for Wafer Measurement & OLED
　　选项  Programmable Auto Z Stage
　　
　　参考样品(K-MAC or KRISS or NIST)
　　
　　焦点  Coaxial Coarse and Fine Focus Controls
　　附带照明  12v 100W Halogen Lamp