1. X射线发生系统采用了聚光导管 由于采用了X射线聚光导管方式，可得到以往十倍以上的X射线强度，从而可以提高微小样品的膜厚测量及有害物质测量的。

2. 无需液氮的半导体检测器 在进行薄膜测量与有害物质的浓度测量时，高分辨率的检测器是必不可少的。SFT9500的检测器不但可以达到高分辨率，而且可以实现高计数率。同时，由于使用了电子冷却方式，所以无需液氮。

3. 能谱匹配软件（选配件） 可瞬间识别未知样品与事先存档的X射线能谱库中哪一个样品较为接近的软件。对识别材料十分有效。

4. 块体检量线软件（适用于电镀液分析） （选配件） 可简单地测量出电镀液中主要金属的浓度。

5.绘图软件（选配件） 将元素面分析的结果进行等高线和色彩使用等视觉处理的软件。

6. 电镀液容器（选配件）

7. 各种标准物质（选配件）