特点及应用领域
　　气体质量流量控制器（流量计）（Mass gas flow controller（meter））缩写为MFC(MFM)）是对气体的质量流量进行精密测量和控制的设备。
　　S49系列质量流量控制器(流量计)特点：
　　*采用主体不锈钢（316L）结构，与气体接触部分采用铁素体高耐腐蚀软磁不锈钢、VITON？、聚四氟乙烯等
　　*适用于各种腐蚀性气体
　　*气体流量不因温度、压力的变化而失准
　　*高  
　　*重复性好
　　*响应速度快、软启动、稳定可靠
　　*低压降
　　*工作压力范围宽（可以在高压或真空条件下工作）。
　　*操作使用方便，可任意位置安装
　　*便于与计算机连接实现自动控制。
　　S49系列质量流量控制器(流量计)主要应用领域：
　　*半导体制造行业的气体流量控制
　　*分析仪器设备的气体计量与控制
　　*各种形式的真空镀膜设备
　　*环境检测与分析设备
　　*化工、石化、食品行业气体流量监测和控制
　　*特种材料表面处理装置与燃烧控制
　　*混气配气系统和泄漏探测系统等

S49 32/MT质量流量控制器(流量计)技术指标
编号  项目  S49 32/MT
1  流量规格  （5,10,30,50,100,200,300,500）mL/min
（1,2,3,5,10）L/min
2  调节阀类型  电磁调节阀
3  调节阀静止状态  常闭
4  准确度  ±1.5%F.S
5  线性  ±1.5%F.S
6  重复  ±0.2%F.S
7  响应时间  ≤8秒（T95）
8  工作压差范围  （50～300）kPa;   （100～300）kPa(10L/min)
9  耐压  3MPa;           10MPa
10  工作环境温度  （5～45）℃
11  材料  不锈钢316L
12  标准密封材料  Viton？，    EPDM，  或其他由用户指定
13  漏率  1×10-8Pa.m3/s
14  接头  Φ6mm～Φ10mm, 1/4″Swagelok。1/4″VCR。或其他由用户指定
15  输入输出信号  （0～＋5.00）V (输入阻抗≥100KΩ,负载输出电流能力≤3mA)
16  供电电源  ±15V（±5%）（＋15V  50mA,  －15V  200mA）
17  外形尺寸mm  130（宽）×102（高）×28（厚）
18  重量kg  0．8