LF400-A质量流量控制器,气体质量流量控制器
我们生产的质量流量控制器所使用的技术全由我们技术,具有自主知识产权,产品的每一个部件都有我们自己设计制做,且以取得了多项技术申请,每一个部件我们都以精益求精的质量报务广大客户,让客户体验到自动化流量控制设备带来的改变,为现有的产品技术升级提供基础服务。
详细介绍
我公司生产的气体质量流量控制器/质量流量控制器所使用的技术全由我们技术,具有自主知识产权,产品的每一个部件都有我们自己设计制做,且以取得了多项技术申请,每一个部件我们都以精益求精的质量报务广大客户,让客户体验到自动化流量控制设备带来的改变,为现有的产品技术升级提供基础服务。
概要
LF400系列采用温度变化对应于质量流量的原理,可以对不同的气体进行流量测量及控制。
气体质量流量控制器可应用在5SCCM到30SLM的气体流量范围,并且不会受到温度及压力变化的影响。
产品系列完整,可选择数字式,模拟式,普通,高,高压力型,性能且价格具有竞争力,应用领域广泛。
特点
o 模拟式热质式流量计/流量控制器:
-环境温度补正
-可应用的流率范围广:
-0~5,10,20,30,50,100,200,500SCCM
-0~1,2,3,5,10,15,20,30SLM
o 高
±1%(≤15SLM)
±1.5%(>15SLM.)
o 可选用LF系列控制模块,具有数位显示、电源供应、流量设定等功能对气体质量流量控制器设定流,实现数字控制。
o 我司生产的气体质量流量控制器国际兼容
应用
o 工业设施的气体供应监测/控制。
o 气体分析设备。
o 固定气体质量流量控制器。
o 同时气体质量流量控制器应用于气体混合或分离设备
标准
气体质量流量控制器用氮气(N2)标定。
标准状态规定为:
标准温度………………0℃(273.15K)
标准压强………………101325Pa
输入输出
输入设定电压…………0~+5.00V
输出电压检测…………0~+5.00V
规格(热式)
功能
流量计/控制器
基本型号
LF400-A
满量程流量范围(N2)
SCCM
0~5,10,20,30,50,100,200,500
SLM
0~1,2,3,5,10,15,20,30
(%F.S)
±1(≤15SLM)
±1.5(>15SLM.)
控制阀动作型式
常闭式
线性(%F.S.)
±0.5~1(≤15SLM)
±1.5%(>15SLM.)
重复(%F.S.)
±0.2
响应时间(sec)
≤1
流量输出信号
0-5 DCV
流量设定信号
0-5 DCV
电器接头
DB15 pin(接头)
工作环境温度
(℃)
5~45
工作压差
(MPa)
0.05~0.5
漏率
SCCSHe
1×10-9
耐压
3MPa
介质接触材质
304,316,316L
密封材料
氟橡胶,硅橡胶,丁腈橡胶,聚四氟乙烯
接头尺寸
VCR 1/4、1/2
Swagelok1/8"、1/4"、3/8"、1/2"或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm
电源要求
+15V,50mA;-15V,200mA
其他说明
功能 |
流量计/控制器 |
基本型号 |
LF400-A |
满量程流量范围(N 2 ) |
SCCM |
0~5,10,20,30,50,100,200,500 |
SLM |
0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30 |
(%F.S) |
±1(≤15SLM) |
±1.5(>15SLM.) |
控制阀动作型式 |
常闭式 |
线性(%F.S.) |
±0.5~1(≤15SLM) |
±1.5%(>15SLM.) |
重复(%F.S.) |
±0.2 |
响应时间(sec) |
≤1 |
流量输出信号 |
0-5 DCV |
流量设定信号 |
0-5 DCV |
电器接头 |
DB15 pin(接头) |
工作环境温度 |
(℃) |
5~45 |
工作压差 |
(MPa) |
0.05~0.5 |
漏率 |
SCCSHe |
1×10 -9 |
耐压 |
3MPa |
介质接触材质 |
304,316,316L |
密封材料 |
氟橡胶,硅橡胶,丁腈橡胶,聚四氟乙烯 |
接头尺寸 |
VCR 1/4,1/2 |
Swagelok1/8”,1/4” ,3/8” ,1/2”或φ3,φ6,φ8,φ10,φ12mm |
电源要求 |
+15V,50mA;-15V,200mA |