采用封闭框架固定桥式结构，三轴运动相互独立，互不干扰。Y轴运动由具有双燕尾导轨的工作台移动完成，降低了运动重心，具有极高稳定性和测量。 

驱动系统采用进口高性能直流伺服电机，滚珠丝杆和柔性同步齿形带传动，确保传动、快捷、平稳、无噪声和更长的使用寿命。
电器控制系统和过滤系统均选用国际品牌进口产品，三级高过滤和高质量柔性拖链电缆保证了导轨和电控系统的长寿命。
三轴均为中心驱动，减小了运动中的偏摆。
Y轴光栅尺安装在接近测量轴线处，减小了阿贝误差。
Z轴采用气缸平衡装置，极大的提高了Z轴的定位及运动平稳性。