设计特点　
·　热式原理　
·　一体化设计　
·　满量程从5SCCM到1000SLPM　
·　响应时间不超过2秒钟　
·　操作压力可达20MPa　
·　对安装位置不敏感　
·　316SS材质，允许测量腐蚀性气体　
·　无直管段安装要求　
·　单电源供电　

技术参数　
流量范围：从0-5SCCM到0-1000SLPM　N　2，具体请参考表一　
响应时间：1～2秒
：±1％满量程（除204A型）；
---------±1.5％满量程（204A型）
重复性：±0.2％满量程
量程比：50：1（2％-100％满量程）
环境和操作温度：-10～70℃
操作压力：3000PSIG（20MPa），具体请参考表一
零点漂移：±0.05％满量程／℃
范围漂移：±0.05％读数／℃
压力漂移：0.1％／atm（相对于N2）
安装方向：对位置不敏感
预热时间：10分钟
电气连接：卡式（20针）或D型（9针）
设定点输入流量信号输出：0-5VDC／0-5VDC（小负载电阻2KΩ）；
-------------------------0-10VDC／0-10VDC（小负载电阻3KΩ）；
-------------------------1-5VDC／1-5VDC（小负载电阻2KΩ）；
-------------------------4-20mA／4-20mA（请参考下面的说明）；
-------------------------1-5VDC／4-20mA（请参考下面的说明）
对于流量信号输出为4-20mA的负载电阻：
环路电压为6.5-15VDC时：0-450Ω
环路电压为15-30VDC时：200-750Ω
供应电源：
电压输出：＋12（±5％）（仅适用于0-5VDC和1-5VDC流量信号输出）或＋15（±10％）VDC
电流输出：＋15（±5％）或＋24（±15％）VDC
电流消耗：＜250mAdc
重量：请参考表一