产品简介
全新的一体化设计,具有优异的光学成像质量,方便使用的正像光学系统,是理想的检测半导体器件的工具,支持3种激光波长,可在半导体和液晶基板中使用激光切割和薄膜技术。可以广泛应用于半导体、电子、冶金等行业的制造和研究领域。
描述
●人机工程头部
PSM-1000E双目观察头可以在3°-30°转动,调整观察眼点的高度和观察方向,使操作者的使用更加舒适。
●管镜
PSM-1000的管镜转盘上装有1X NUV、1X NIR和2X 管镜,三组管镜之间可以根据需要进行切换,切换简单、方便。其中1X NUV对355nm和532nm波长进行了优化,1X NIR对532nm和1064nm波长进行了优化,当使用这3个波长的激光器时,可以得到更好的激光透过率。
●光路切换拉杆
通过推拉光路转换拉杆可以方便的对光路进行切换。当转换拉杆往外拉时,双目头和摄像接口的分光比为0:100,此时从摄像接口上入射的激光100%的进入光路,提高了激光效率;当转换器拉杆往里推时,双目头和摄像接口的分光比为50:50,此时即可用双目头观察,同时也可以在摄像接口上使用CCD摄像头或激光器。
●偏光观察
主体上留有偏光插孔,插上偏光附件(选配件),可进行偏光观察。
●调焦机构
PSM-1000的调焦机构转动舒适,工作可靠。调焦机构可承载45磅(20.4Kg),确保安装激光器和CCD摄像头后,仍然能够正常工作。
●转换器
PSM-1000采用4孔可调中转换器,使用随机配送的调中钥匙,可以很方便地调整物镜的齐中。
●物镜
PSM-1000采用长工作距离的无应力平场复消色差物镜,提供了优异的成像质量。关于物镜的具体参数请参照APO物镜样本。
●数码摄像系统
根据所使用的CCD摄像机的CCD尺寸,选择合适的摄像接头,安装在摄像接口上,组成数码摄像系统,就可以在电脑、电视或监视器上同步观察。
●照明系统
采用同轴垂直照明系统,光源采用外置冷光源。长达2m的照明光纤和光源遥控器(选配件)给PSM-1000带来更自由的操作空间。
●探测工作站
PSM-1000的主体部分可以安装在探测工作站上,进行硅片的测试。
●激光装置
PSM-1000的摄像接口处装有激光安全定位销,双目头前留有安装激光安全滤色片的位置,并提供补偿垫片。无需专用的激光工具箱,就可以方便的把激光器和激光安全滤色片安装上。
注:在安装和使用激光器之前,请您仔细阅读激光器和激光安全滤色片的使用手册。由于在PSM-1000上使用激光器和激光安全滤色片而产生的安全和性能问题,麦克奥迪实业集团有限公司对此概不负责。
规格说明
PSM-1000主要技术参数
铰链式三目头 图像 正像
瞳距 调节范围 55-75mm
视场直径 24mm
分光比 可通过光路切换拉杆自由切换(双目头:第三目=100:0或50:50)
主体 管镜 1X(可对紫外及红外线进行优化),2X
激光的使用 拉出光路切换拉杆即可
可应用的激光 1064/532/355 nm NWR laser
调焦机构 粗微调手轮 调焦行程:50mm;粗动手轮4mm/转;微动手轮0.1mm/转
调焦机构承重量 20.5kg
摄像接头 C-Mount接头
照明系统 同轴垂直照明,可变孔径光栏
冷光源(选配) 150W冷光源照明器及工业显微镜光纤(2m)
物镜转换器 四孔物镜转换器,中心可调,可拆卸
物镜(选配) 长工作距离平复消色差物镜 2X,5X,10X,20X,50X
超长工作距离复消色差物镜 50X,100X
可调焦长工作距离复消色差物镜 2X,5X,10X,20X,50X
可调焦超工作距离复消色差物镜 50X,100X
NIR超长工作距离复消色差物镜 20X,50X
重量 主体:6.8kg;冷光源照明器:2.5kg