气体质量流量控制器(LF400-A2)
价格:电议
地区:四川省 成都市
电 话:86-28-83288011
手 机:86-13908086192
传 真:86-28-61717099
图文详情
产品属性
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功能 | 质量流量计/控制器 | |
基本型号 | LF400-A2 | |
满量程流量范围(N2) | SCCM | 0& #12316; 5,10,20,30,50,100,200,500 |
SLM | 0& #12316; 1,2,3,5,10,15,20,30 | |
(%F. S) | & plusmn; 1.5(& le; 15SLM) | |
& plusmn; 2(>15SLM) | ||
控制阀动作型式 | 常闭式 | |
线性(%F. S. ) | & plusmn; 0.5& #12316; 1(& le; 15SLM) | |
& plusmn; 1.5%(>15SLM) | ||
重复(%F. S. ) | & plusmn; 0.2 | |
响应时间(sec) | & le; 1 | |
流量输出信号 | 0~5.00VDC | |
流量设定信号 | 0~5.00VDC | |
电器接头 | DB15 pin(接头) | |
工作环境温度 | (℃) | 5& #12316; 45 |
工作压差 | (MPa) | 0.05& #12316; 0.5 |
漏率 | atm. cc/sec He | 1& times; 10-9 |
耐压 | 3MPa | |
介质接触材质 | 304,316,316L | |
密封材料 | 氟橡胶,硅橡胶,丁腈橡胶,聚四氟乙烯 | |
接头尺寸 | VCR 1/4" ,1/2" | |
Swagelok1/8" ,1/4" ,3/8" ,1/2" 或& phi; 3,& phi; 6,& phi; 8,& phi; 10,& phi; 12mm | ||
电源要 | +15V,50mA;-15V,200mA |