产品型号：SOV-4030N
　　形尺寸（W＊D＊H）：860＊650＊1120mm
　　X＊Y＊Z行程：400＊300＊150mm  
　　台面大小：600＊450mm  
　　机台重量：350kg  
　　台面荷重：25kg  
　　重现性：＜0.005mm  
　　光栅尺解析力：0.001mm  
　　示值：3＋L／200μm  
　　放大倍数：20x-120x、30x-225x
　　CCD：彩色1／3"高解析520TV线